De chipopbringst yn 'e IC-produksjesektor is nau besibbe oan 'e grutte en it oantal loftdieltsjes dy't op 'e chip ôfset wurde. In goede loftstreamorganisaasje kin de dieltsjes dy't generearre wurde troch de stofboarne fuorthelje fan 'e skjinne keamer om de skjinens fan 'e skjinne keamer te garandearjen, dat wol sizze, de loftstreamorganisaasje yn in skjinne keamer spilet in essensjele rol yn 'e opbringst fan IC-produksje. It ûntwerp fan 'e loftstreamorganisaasje yn in skjinne keamer moat de folgjende doelen berikke: de wervelstream yn it streamfjild ferminderje of eliminearje om it behâld fan skealike dieltsjes te foarkommen; in passende positive drukgradiënt behâlde om krúsbesmetting te foarkommen.
Loftstreamkrêft
Neffens it skjinne keamerprinsipe omfetsje de krêften dy't op 'e dieltsjes wurkje massakrêft, molekulêre krêft, oanlûkingskrêft tusken dieltsjes, luchtstreamkrêft, ensfh.
Loftstreamkrêft: ferwiist nei de krêft fan 'e luchtstream feroarsake troch de oanfier, weromstream, termyske konveksjeluchtstream, keunstmjittich roeren, en oare luchtstreamen mei in bepaalde streamsnelheid om de dieltsjes te ferfieren. Foar de technyske kontrôle fan in skjinne keameromjouwing is de luchtstreamkrêft de wichtichste faktor.
Eksperiminten hawwe oantoand dat by luchtstreambeweging de dieltsjes de luchtstreambeweging hast mei deselde snelheid folgje. De steat fan 'e dieltsjes yn 'e loft wurdt bepaald troch de ferdieling fan 'e luchtstream. De luchtstreamen dy't ynfloed hawwe op dieltsjes binnen binne benammen: luchttoevoerluchtstream (ynklusyf primêre luchtstream en sekundêre luchtstream), luchtstream en termyske konveksjeluchtstream feroarsake troch minsken dy't rinne, en de luchtstream feroarsake troch prosesoperaasje en yndustriële apparatuer. Ferskillende luchttoevoermethoden, snelheidsinterfaces, operators en yndustriële apparatuer, en feroarsake ferskynsels yn skjinne keamers binne allegear faktoaren dy't it skjinensnivo beynfloedzje.
Faktoaren dy't ynfloed hawwe op de organisaasje fan 'e loftstream
1. De ynfloed fan 'e metoade foar loftfoarsjenning
(1). Lofttoevoersnelheid
Om in unifoarme luchtstream te garandearjen, moat de luchttoevoersnelheid unifoarm wêze yn in unidireksjonele skjinne keamer; de deade sône fan it luchttoevoeroppervlak moat lyts wêze; en de drukfal yn 'e ULPA moat ek unifoarm wêze.
Uniforme luchttoevoersnelheid: dat wol sizze, de ûngelikensens fan 'e luchtstream wurdt kontroleare binnen ± 20%.
Minder deade sône op it loftfoarsjenningsflak: net allinich moat it flakke oerflak fan it ULPA-frame wurde fermindere, mar wichtiger is dat modulêre FFU moat wurde oannaam om it redundante frame te ferienfâldigjen.
Om fertikale unidireksjonele luchtstream te garandearjen, is de seleksje fan drukfal fan it filter ek tige wichtich, wêrby't fereaske wurdt dat it drukferlies yn it filter net ôfwike kin.
(2). Ferliking tusken FFU-systeem en axiale streamventilatorsysteem
FFU is in luchtfoarsjenningseenheid mei in fentilator en in filter (ULPA). Nei't de lucht troch de sintrifugale fentilator fan FFU oansûge is, wurdt de dynamyske druk yn it luchtkanaal omset yn statyske druk en troch ULPA evenredich útblaasd. De luchtfoarsjenningsdruk oan it plafond is negative druk, sadat der gjin stof yn 'e skjinne keamer lekke sil as it filter ferfongen wurdt. Eksperiminten hawwe oantoand dat it FFU-systeem superieur is oan it axiale streamventilatorsysteem op it mêd fan loftútlaatuniformiteit, loftstreamparallellisme en fentilaasje-effisjinsje-yndeks. Dit komt om't de loftstreamparallellisme fan it FFU-systeem better is. It gebrûk fan it FFU-systeem kin de loftstream yn 'e skjinne keamer better organisearre meitsje.
(3). De ynfloed fan 'e eigen struktuer fan FFU
FFU bestiet benammen út fans, filters, luchtstreamliedingsapparaten en oare komponinten. It ultra-hege effisjinsjefilter ULPA is de wichtichste garânsje foar oft de skjinne keamer de fereaske skjinens fan it ûntwerp kin berikke. It materiaal fan it filter sil ek ynfloed hawwe op de uniformiteit fan it streamfjild. As in grof filtermateriaal of in laminêre streamplaat tafoege wurdt oan 'e filterútgong, kin it útgongsstreamfjild maklik uniform makke wurde.
2. Ynfloed fan ferskate snelheidsinterfaces fan skjinens
Yn deselde skjinne keamer, tusken it wurkgebiet en it net-wurkgebiet fan fertikale unidireksjonele stream, sil, fanwegen it ferskil yn luchtsnelheid by de ULPA-útgong, in mingd vortex-effekt ûntstean by de ynterface, en dizze ynterface sil in turbulinte luchtstreamsône wurde mei in bysûnder hege luchtturbulinsje-yntensiteit. Dieltsjes kinne oerbrocht wurde nei it oerflak fan 'e apparatuer en de apparatuer en wafers fersmoargje.
3. Ynfloed fan personiel en apparatuer
As de skjinne keamer leech is, foldogge de luchtstreamkarakteristiken yn 'e keamer oer it algemien oan 'e ûntwerpeasken. Sadree't de apparatuer de skjinne keamer yngiet, personiel beweecht en produkten wurde trochjûn, sille der ûnûntkomber obstakels wêze foar de organisaasje fan 'e luchtstream. Bygelyks, by de útstekkende hoeken of rânen fan 'e apparatuer sil it gas wurde omlaat om in turbulinte sône te foarmjen, en de floeistof yn 'e sône wurdt net maklik troch it gas meifierd, wêrtroch fersmoarging ûntstiet. Tagelyk sil it oerflak fan 'e apparatuer opwaarmje troch trochgeande operaasje, en de temperatuergradiïnt sil in reflow-sône by de masine feroarsaakje, wat de opgarjen fan dieltsjes yn 'e reflow-sône sil ferheegje. Tagelyk sil de hege temperatuer maklik derfoar soargje dat de dieltsjes ûntkomme. It dûbele effekt fergruttet de muoite om de algemiene fertikale laminêre skjinens te kontrolearjen. It stof fan 'e operators yn 'e skjinne keamer kin hiel maklik oan 'e wafers yn dizze reflow-sônes fêsthâlde.
4. Ynfloed fan weromkommende loftflier
As de wjerstân fan 'e weromkommende lucht dy't troch de flier giet oars is, sil der in ferskil yn druk ûntstien wêze, sadat de lucht yn 'e rjochting fan minder wjerstân streamt, en gjin unifoarme luchtstream wurdt krigen. De hjoeddeiske populêre ûntwerpmetoade is it brûken fan ferhege flierren. As de iepeningssnelheid fan ferhege flierren 10% is, kin de luchtstreamsnelheid yn 'e wurkhichte fan' e keamer evenredich ferdield wurde. Derneist moat strang omtinken jûn wurde oan it skjinmeitsjen om de fersmoargingsboarne fan 'e flier te ferminderjen.
5. Ynduksjeferskynsel
It saneamde ynduksjeferskynsel ferwiist nei it ferskynsel dat de luchtstream yn 'e tsjinoerstelde rjochting fan' e unifoarme stream generearre wurdt, en it stof dat yn 'e keamer generearre wurdt of it stof yn it oanbuorjende fersmoarge gebiet wurdt ynducearre nei de wynopwaartse kant, sadat it stof de chip fersmoargje kin. De folgjende binne de mooglike ynduksjeferskynsels:
(1). Blinde plaat
Yn in skjinne keamer mei fertikale unidireksjonele stream binne der, fanwegen de voegen oan 'e muorre, oer it generaal grutte bline platen dy't turbulinsje yn 'e lokale weromstream generearje.
(2). Lampen
De ferljochtingsarmaturen yn 'e skjinne keamer sille in gruttere ynfloed hawwe. Omdat de waarmte fan fluoreszinte lampen de luchtstream omheech bringt, sil der gjin turbulint gebiet ûnder de fluoreszinte lampen wêze. Yn 't algemien binne de lampen yn 'e skjinne keamer ûntwurpen yn in trienfoarm om de ynfloed fan 'e lampen op 'e organisaasje fan 'e luchtstream te ferminderjen.
(3.) Iepen romten tusken muorren
As der gatten binne tusken skiedingswanden mei ferskillende skjinensnivo's of tusken skiedingswanden en plafonds, kin stof út it gebiet mei lege skjinenseasken oerdroegen wurde nei it oanbuorjende gebiet mei hege skjinenseasken.
(4). Ofstân tusken de masine en de flier of muorre
As de romte tusken de masine en de flier of muorre tige lyts is, sil dit liede ta turbulinsje yn 'e rebound-modus. Lit dêrom in romte tusken de apparatuer en de muorre en til de masine op om te foarkommen dat de masine de grûn direkt rekket.
Pleatsingstiid: 5 febrewaris 2025