De CHIP-opbringstnivo yn 'e IC-fabrikaazje-yndustry is nau besibbe oan' e grutte en it oantal loftpartikels dellein op 'e chip. In goede fleanmasinisaasje kin de dieltsjes oernimme troch de stofboarne fuort om te garandearjen om de skjinmeitsjen fan 'e skjinne keamer te garandearjen, dat is, de loftflause-organisaasje spilet in fitale rol yn' e opbringst rol yn it opbringst rêding fan IC-produksje. It ûntwerp fan 'e fleanmasination yn skjinne keamer moat de folgjende doelen berikke: ferminderje of eliminearje de Eddy-stroom yn it Flowfjild om de behâld fan skealike dieltsjes te foarkommen; hanthavenje in passende positive drukgradient om te foarkommen om krús-besmetting te foarkommen.
Fleantúchkracht
Neffens it prinsipe skjinne keamer, omfetsje de krêften op 'e dieltsjes fan massa krêft, molekulêre krêft, attraksje tusken dieltsjes, luchtstream-krêft, ensfh.
Fleanforg: ferwiist nei de krêft fan 'e loftstream feroarsake troch de levering, return Airflow, Thermyske konveksje AirFlow, keunstmjittige rolte, en oare loftflecht mei in bepaalde streamnivo om de dieltsjes te dragen. Foar de technyske kontrôle fan omjouwing fan skjinne keamer is luchtstream-krêft de wichtichste faktor.
Eksperiminten hawwe sjen litten dat yn loftstream beweging, de dieltsjes de loftstream beweging op hast deselde snelheid folgje. De steat fan 'e dieltsjes yn' e loft wurdt bepaald troch de loftstreamd distribúsje. De loftfluch dy't ynfloed hawwe op indoor dieltsjes omfetsje noflike luchtstream (ynklusyf primêre luchtflean en sekuerde konveksje), en de loftflow feroarsake troch ferwurkjen fan operaasje en yndustriële apparatuer. Ferskillende metoaden foar loftferliening, snelheidsintergebieten, operators en yndustriële apparatuer, en induzeare ferskynsels yn skjinne keamers binne alle faktoaren dy't ynfloed binne op it skjinensnivo.
Faktoaren dy't ynfloed hawwe op loftflow-organisaasje
1 de ynfloed fan metoade foar loftferliening
(1). Luchtplande snelheid
Om unifoarme loftflow te garandearjen moat de snelheidsnelheid unifoarm wêze yn in unidirectional skjinne keamer; De deade sône fan it Air Suppled-oerflak moat lyts wêze; En de drukwyk yn 'e ULPA moat ek unifoarm wêze.
Unifoarme loftferliening Speed: dat is, de unevenheid fan 'e loftstream wurdt binnen ± 20% kontroleare.
Minder deade sône op it Air Supply-oerflak: Net allinich soe it fleantúchgebiet fan it Ulpa-frame wurde fermindere, mar wichtiger moat modulêre FFU oannaam wurde om it Redundant Frame te ferienfâldigjen.
Om fertikale unidirectionele loftstream te garandearjen is de seleksje fan 'e druk drop ek heul wichtich, fereasket dat it drukferlies yn it filter kin net ôfwike.
(2). Fergeliking tusken FFU-systeem en axiale stream fan systeem
FFU is in loftfoarsjenning mei in fan en in filter (Ulpa). Neidat de loft wurdt sucked yn troch de sintrifugaal fan FFU wurdt de dynamyske druk omboud ta statyske druk yn loftkleurich en lilk útblaasd troch Ulpa. De loftfoarsjenning op it plafond is negative druk, sadat gjin stof sil lekt yn 'e skjinne keamer as it filter wurdt ferfongen. Eksperiminten hawwe oantoand dat it FFU-systeem superieur is oan 'e axiale stream fan systeem yn termen fan unifoarsk fan loftferlof, fleantúch-effisjinsje-yndeks. Dit komt om't it fleantúch parallelisme fan it FFU-systeem better is. It gebrûk fan it FFU-systeem kin de loftstream meitsje yn 'e skjinne keamer better organiseare.
(3). De ynfloed fan de eigen struktuer fan FFU
FFU is fral gearstald út fans, filters, loftflow gids apparaten en oare komponinten. It Ultra-hege effisjinsje Filter UlPa is de wichtichste garânsje foar oft de skjinne keamer de fereaske skjinens fan it ûntwerp kin berikke. It materiaal fan it filter sil ek ynfloed hawwe op 'e uniformiteit fan it streamfjild. As in grof filtermateriaal as in lamine-stream plate wurdt tafoege oan it filter-outlet, kin it outlet-flow fjild maklik unifoarm kinne wurde makke.
2. Ympakt fan ferskillende snelheidsynterfuuren fan skjinens
Yn deselde skjinne keamer, tusken it wurkgebiet en net-wurkjende gebiet fan fertikale unidierlike stream, fanwegen it ferskil yn 'e Ulpa-outlet sil in mingde vortex-effekt wurde generearre by de ynterface, en dizze ynterface sil in turbulente wurde loftstream sône mei benammen hege loft foar hege loft foar loft. Dielen kinne wurde oerbrocht nei it oerflak fan 'e apparatuer en kontaminearje de apparatuer en wafels.
3. Ympakt fan personiel en apparatuer
As de skjinne keamer leech is, foldocht de luchtstream yn 'e keamer yn' t algemien yn 't algemien oan' e ûntwerpeasken. As de apparatuer de skjinne keamer ynkomt, wurde personiel ferhúzje en produkten oerbrocht, sille d'r ûnferoarlik wêze foar de Air Flow Organisaasje. Bygelyks, bygelyks oan 'e útstekkende hoeken fan' e apparatuer sil it gas wurde ferdield om in turbulente sône te foarmjen, en de floeistof yn 'e sône wurdt net maklik troch it gas, feroarsake. Tagelyk sil it oerflak fan 'e apparatuer ferwaarmje fanwege trochgeande operaasje, en de temperatuer sil in reflow-sône by de masine feroarsaakje, dy't de accumulation fan dieltsjes yn' e reflowzone sil ferheegje. Tagelyk sil de hege temperatuer maklik feroarsaakje dat de dieltsjes ûntkomme. It dual-effekt fergruttet de muoite om de totale toeverwinlikens te kontrolearjen. It stof fan 'e operators yn' e skjinne keamer is heul maklik te folgjen oan 'e wafels yn dizze reflowzones.
4. Ynfloed fan return Air Floor
As it wjerstân fan retel troch de flier foarby is, sil in drukferhier wurde generearre, sadat de loft sil streamje yn 'e rjochting fan minder wjerstân, en unifoarme loftflow sil net wurde krigen. De hjoeddeistige populêre ûntwerpmetoade is om ferhege ferdjippingen te brûken. As it iepeningsrate fan ferhege ferdjippingen 10% is, kin de loftstreamwinkels yn 'e wurkjende hichte fan' e keamer gelyk ferdield wurde. Derneist moat strikte oandacht betelle wurde foar it skjinmeitsjen fan wurk om de fersmoargingskorne fan 'e flier te ferminderjen.
5 Induksje Fenomenon
De saneamde Induction-fenomenon ferwiist nei it fenomenon dat de loftstream yn 'e tsjinoerstelde stream wurdt generearre, en it stof yn it neistlizzende besmette gebiet is feroarsake oan' e Upwind-kant, sadat it stof kin de chip kontaminearje. It folgjende binne de mooglike ynduksje-ferskynsels:
(1). Blyn plaat
Yn in skjinne keamer mei fertikale unidireklike stream, fanwege de gewrichten oan 'e muorre binne d'r oer it algemien grutte bline platen dy't turbulinsje sille generearje yn' e pleatslike sterke stream.
(2). Lampen
De ferljochtingsarmuren yn 'e skjinne keamer sille in gruttere ynfloed hawwe. Sûnt de hjittens fan fluorescerende lampen feroarsaket de loftstream om te opstean, sil d'r gjin turbulente gebiet wêze ûnder de fluorescerende lampen. Yn 't algemien binne de lampen yn' e skjinne keamer ûntworpen yn in teardropfoarm om de ynfloed fan 'e lampen te ferminderjen op' e loftfluyske organisaasje.
(3.) gatten tusken muorren
As der gatten binne tusken partysjes mei ferskate skjinensnivo's of tusken partysjes en plafonds út it gebiet mei easken mei lege skjinens kinne wurde oerdroegen oan it oanswettend gebiet mei hege reinigenseasken.
(4). Ôfstân tusken de masine en de flier as muorre
As de kloof tusken de masine en de flier as muorre heul lyts is, sil it rebound Turbulence feroarsaakje. Lit dêrom in kloof ferlitte tusken de apparatuer en de muorre en ferheegje de masine om te foarkommen dat de masine de grûn direkt oanreitsje.
Posttiid: FEB-05-2025