De chipopbringst yn 'e chipproduksje-yndustry is nau besibbe oan 'e grutte en it oantal loftdieltsjes dy't op 'e chip ôfset wurde. In goede organisaasje fan 'e loftstream kin dieltsjes dy't generearre wurde út stofboarnen fuorthelje fan 'e skjinne keamer en de skjinens fan 'e skjinne keamer garandearje. Dat wol sizze, de organisaasje fan 'e loftstream yn in skjinne keamer spilet in essensjele rol yn 'e opbringst fan chipproduksje. De doelen dy't berikt wurde moatte by it ûntwerp fan 'e organisaasje fan 'e loftstream yn in skjinne keamer binne: it ferminderjen of eliminearjen fan wervelstreamen yn it streamfjild om it behâld fan skealike dieltsjes te foarkommen; it behâlden fan in passende positive drukgradiïnt om krúsbesmetting te foarkommen.
Neffens it skjinne keamerprinsipe omfetsje de krêften dy't op dieltsjes wurkje massakrêft, molekulêre krêft, oanlûkingskrêft tusken dieltsjes, loftstreamkrêft, ensfh.
Loftstreamkrêft: ferwiist nei de krêft fan 'e luchtstream feroarsake troch oanfier- en weromstreamstream, termyske konveksjeluchtstream, keunstmjittige roering, en oare luchtstreamen mei in bepaalde streamsnelheid om dieltsjes te ferfieren. Foar skjinne keamermiljeu-technologykontrôle is de loftstreamkrêft de wichtichste faktor.
Eksperiminten hawwe oantoand dat dieltsjes yn luchtstreambeweging de luchtstream mei hast presys deselde snelheid folgje. De tastân fan dieltsjes yn 'e loft wurdt bepaald troch de ferdieling fan 'e luchtstream. De wichtichste effekten fan luchtstream op dieltsjes binnen omfetsje: luchttoevoerluchtstream (ynklusyf primêre luchtstream en sekundêre luchtstream), luchtstream en termyske konveksjeluchtstream feroarsake troch minsken dy't rinne, en de ynfloed fan luchtstream op dieltsjes feroarsake troch prosesoperaasjes en yndustriële apparatuer. Ferskillende luchttoevoermethoden, snelheidsinterfaces, operators en yndustriële apparatuer, feroarsake ferskynsels, ensfh. yn skjinne keamers binne allegear faktoaren dy't ynfloed hawwe op it skjinensnivo.
1. Ynfloed fan loftfoarsjenningsmetoade
(1) Lofttoevoersnelheid
Om in unifoarme luchtstream te garandearjen, moat de luchttoevoersnelheid yn 'e unidireksjonele skjinne keamer unifoarm wêze; de deade sône op it luchttoevoeroppervlak moat lyts wêze; en de drukfal yn it hepa-filter moat ek unifoarm wêze.
De luchttoevoersnelheid is unifoarm: dat wol sizze, de ûngelikensens fan 'e luchtstream wurdt kontroleare binnen ± 20%.
Der is minder deade romte op it loftfoarsjenningsflak: net allinich moat it flakke oerflak fan it hepa-frame wurde fermindere, mar wichtiger is dat modulêre FFU brûkt wurde moat om it redundante frame te ferienfâldigjen.
Om te soargjen dat de loftstream fertikaal en unidireksjoneel is, is de seleksje fan 'e drukfal fan it filter ek tige wichtich, en it is fereaske dat it drukferlies binnen it filter net foaroardiele wurdt.
(2) Ferliking tusken FFU-systeem en axiale streamventilatorsysteem
FFU is in luchtfoarsjenningseenheid mei in fentilator en HEPA-filter. De lucht wurdt oansûge troch de sintrifugale fentilator fan 'e FFU en set de dynamyske druk om yn statyske druk yn 'e luchtkanaal. It wurdt evenredich útblaasd troch HEPA-filter. De luchtfoarsjenningsdruk oan it plafond is negative druk. Op dizze manier sil der gjin stof yn 'e skjinne keamer lekke by it ferfangen fan it filter. Eksperiminten hawwe oantoand dat it FFU-systeem superieur is oan it axiale streamventilatorsysteem op it mêd fan loftútlaatuniformiteit, loftstreamparallellisme en fentilaasje-effisjinsje-yndeks. Dit komt om't de loftstreamparallellisme fan it FFU-systeem better is. It gebrûk fan it FFU-systeem kin de organisaasje fan 'e loftstream yn in skjinne keamer ferbetterje.
(3) Ynfloed fan 'e eigen struktuer fan FFU
In FFU bestiet benammen út fans, filters, luchtstreamgidsen en oare ûnderdielen. It HEPA-filter is de wichtichste garânsje foar skjinne romten om de fereaske skjinens te berikken dy't troch it ûntwerp fereaske wurdt. It materiaal fan it filter sil ek ynfloed hawwe op de uniformiteit fan it streamfjild. As in rûch filtermateriaal of in streamplaat tafoege wurdt oan 'e filterútgong, kin it útgongsstreamfjild maklik uniform makke wurde.
2. Ynfloed fan snelheidsynterface mei ferskillende skjinens
Yn deselde skjinne keamer, tusken it wurkgebiet en it net-wurkgebiet mei fertikale unidireksjonele stream, sil der troch it ferskil yn luchtsnelheid by de hepa-doaze in mingd vortex-effekt foarkomme by de ynterface, en dizze ynterface sil in turbulinte luchtstreamsône wurde. De yntensiteit fan luchtturbulinsje is benammen sterk, en dieltsjes kinne oerbrocht wurde nei it oerflak fan 'e apparatuermasine en de apparatuer en wafers fersmoargje.
3. Ynfloed op personiel en apparatuer
As de skjinne keamer leech is, foldogge de luchtstreameigenskippen yn 'e keamer oer it algemien oan 'e ûntwerpeasken. Sadree't apparatuer de skjinne keamer yngiet, minsken bewege en produkten ferfierd wurde, binne der ûnûntkomber obstakels foar de organisaasje fan 'e luchtstream, lykas skerpe punten dy't út 'e masine fan 'e apparatuer stekke. Oan 'e hoeken of rânen sil it gas ôfliede om in turbulint streamgebiet te foarmjen, en de floeistof yn it gebiet sil net maklik meifierd wurde troch it ynkommende gas, wêrtroch fersmoarging ûntstiet.
Tagelyk sil it oerflak fan 'e meganyske apparatuer ferwaarme wurde troch trochgeande operaasje, en de temperatuergradiïnt sil in reflow-gebiet tichtby de masine feroarsaakje, wat de opgarjen fan dieltsjes yn it reflow-gebiet fergruttet. Tagelyk sil de hege temperatuer maklik derfoar soargje dat de dieltsjes ûntsnappe. It dûbele effekt fersterket de algemiene fertikale laach. De muoite om de skjinens fan 'e stream te kontrolearjen. Stof fan operators yn skjinne keamers kin maklik oan wafers yn dizze reflow-gebieten fêstsitte.
4. Ynfloed fan weromkommende loftflier
As de wjerstân fan 'e weromkommende lucht dy't troch de flier giet oars is, sil der in ferskil yn druk ûntstean, wêrtroch't de lucht yn 'e rjochting fan in lytse wjerstân streamt, en in unifoarme luchtstream net berikt wurdt. De hjoeddeiske populêre ûntwerpmetoade is it brûken fan in ferhege flier. As de iepeningsferhâlding fan 'e ferhege flier 10% is, kin de luchtstreamsnelheid lykmatig ferdield wurde oer de wurkhichte binnen. Derneist moat der strange omtinken jûn wurde oan it skjinmeitsjen om de boarne fan fersmoarging op 'e flier te ferminderjen.
5. Ynduksjeferskynsel
It saneamde ynduksjeferskynsel ferwiist nei it ferskynsel fan it generearjen fan luchtstream yn 'e tsjinoerstelde rjochting fan' e unifoarme stream, wêrtroch stof yn 'e keamer of stof yn oangrinzgjende fersmoarge gebieten oan' e wynopkant ûntstiet, wêrtroch't it stof de wafer fersmoarget. Mooglike feroarsake ferskynsels binne ûnder oaren:
(1) Blinde plaat
Yn in skjinne keamer mei fertikale ienrjochtingsstreaming binne d'r, fanwegen de voegen oan 'e muorre, oer it generaal grutte bline panielen dy't turbulinte stream en lokale tebekstreaming produsearje.
(2) Lampen
Ljochtarmaturen yn skjinne keamers sille in gruttere ynfloed hawwe. Omdat de waarmte fan 'e fluoreszinte lampe de luchtstream omheech bringt, sil de fluoreszinte lampe gjin turbulint gebiet wurde. Yn 't algemien binne de lampen yn skjinne keamers ûntwurpen yn in trienfoarm om de ynfloed fan 'e lampen op 'e organisaasje fan 'e luchtstream te ferminderjen.
(3) Iepen romten tusken muorren
As der gatten binne tusken skiedingsmuorren of plafonds mei ferskillende easken foar skjinens, kin stof út gebieten mei lege easken foar skjinens oerdroegen wurde nei oanbuorjende gebieten mei hege easken foar skjinens.
(4) De ôfstân tusken de meganyske apparatuer en de flier of muorre
As de romte tusken de meganyske apparatuer en de flier of muorre lyts is, sil der turbulinsje ûntstean dy't weromkaatst wurdt. Lit dêrom in romte tusken de apparatuer en de muorre en til it masineplatfoarm op om direkt kontakt mei de grûn te foarkommen.
Pleatsingstiid: 2 novimber 2023