De chip-opbringst yn chip-produksjeproduksje is nau besibbe oan 'e grutte en it oantal loftpartikels dellein op chip. Goede loftstream Organisaasje kin dieltsjes nimme, generearre út stofboarnen fuort fan skjinne keamer en soargje foar de skjinens fan 'e skjin te meitsjen. Dat is, de Airpor-organisaasje yn loftstream yn skjin spilet in fitale rol yn 'e opbringst fan chipproduksje. De doelen dy't moatte wurde berikt yn it ûntwerp fan Slach-streamorgaanbedriuwen binne: om Eddy-streamingen te ferminderjen of te eliminearjen yn Flowfjild om bewarje fan skealike dieltsjes te foarkommen of te eliminearjen; Om in passende positive drukgradiën te behâlden om krús-besmetting te foarkommen.
Neffens it prinsipe skjinne keamer dy't hannelje op dieltsjes op dieltsjes omfetsje massa krêft, molekulêre krêft, attraksje tusken dieltsjes, loftstream-krêft, ensfh.
Fleanflechtmacht: ferwiist nei de krêft fan loftstream feroarsake troch levering en werom te reteljen, reteferbeslow-fleantugen, keunstmjittige agitaasje, en oare loftflecht mei in bepaalde streamnivo om dieltsjes te dragen. Foar skjinne keamer miljeustechnologyskontrôle, loftmacht is de wichtichste faktor.
Eksperiminten hawwe sjen litten dat yn loftstreambeweging, dieltsjes de loftstream op hast krekt deselde snelheid folgje. De tastân fan dieltsjes yn loft wurdt bepaald troch de loftstreamdistribúsje. De wichtichste effekten fan loftsfolle op binnenpartij omfetsje: Luchtfleanfluff (ynklusyf primêre loftflean en sekuerde konvektyfljocht feroarsake troch minsken, en de ynfloed fan fleantugen feroarsake troch prosesoperaasjes en yndustriële apparatuer. Ferskillende metoade foar loftferliening, snelheidsintergebieten, operators en yndustriële apparatuer, induzeare ferskynsels, ensfh yn skjinne faktoaren dy't ynfloed hawwe op it skjinensnivo.
1. Ynfloed fan metoade foar loftferliening
(1) snelheid fan loftferliening
Om unifoarme loftstream te garandearjen moat de snelheidsnelheid yn 'e unidieringsfeil yn' e unidirectionlike floatkeamer unifoarm wêze; De deade sône op it Air Suppled-oerflak moat lyts wêze; En de druk drop binnen Hepa-filter moat ek unifoarm wêze.
De snelheidsnelheid is unifoarm: dat is, de unevenheid fan 'e loftstream wurdt kontroleare binnen ± 20%.
D'r is minder deade romte op it Air Suppled-oerflak: net allinich soe it fleantúch fan it HEPA-frame wurde fermindere, mar wichtiger moat modulêre FFU brûkt wurde om it Redundant Frame te ferienfâldigjen.
Om derfoar te soargjen dat de loftstream is fertikale en unidiisjatyf is de seleksje fan 'e druk drop fan it filter ek heul wichtich, en it is fereaske dat it drukferlies yn it filter kin net wêze.
(2) Fergeliking tusken FFU-systeem en axiale stream fan systeem
FFU is in loftfoarsjenning-ienheid mei in fan en Hepa-filter. De loft wurdt yn sucht troch de sintrifugale fan fan 'e FFU en konverteart de dynamyske druk yn statyske druk yn' e loftkanaal. It wurdt gelyk útblaasd troch HAPA-filter. De loftfoarsjenning druk op it plafond is negative druk. Dizze manier sil gjin stof yn skjinne keamer lekke by it ferfangen fan it filter. Eksperiminten hawwe oantoand dat it FFU-systeem superieur is oan it superieur is oan it systeem fan 'e axiale stream yn termen fan uniformiteit fan loft, loftflow en fentilaasje-effisjinsje-yndeks. Dit komt om't de loftstream parallelisme fan it FFU-systeem better is. It gebrûk fan it FFU-systeem kin de Air Flow Organisaasje ferbetterje yn skjinne keamer.
(3) ynfloed fan de eigen struktuer fan FFU
FFU is fral gearstald út fans, filters, loftstream gidsen en oare komponinten. It HAPA-filter is de wichtichste garânsje foar skjinne keamer om de fereaske skjinens fereaske te berikken troch ûntwerp. It materiaal fan it filter sil ek ynfloed hawwe op 'e uniformiteit fan it streamfjild. As in rûch filtermateriaal as in streamplaat wurdt tafoege oan it filter-outlet, kin it Skeakse Flowfjild maklik unifoarm wurde makke.
2. Impakt fan snelheidsface mei ferskate skjinens
Yn deselde skjinne keamer, tusken it wurkgebiet en it net-wurkgebiet mei fertikale unidierlike stream, fanwegen it ferskil yn 'e HAPA-doaze sil in mingde vortex-effekt foarkomme, en dizze ynterface sil in turbulente wurde Fleantúchsône. De yntinsiteit fan loftbelang is benammen sterk, en dieltsjes kinne wurde oerbrocht nei it oerflak fan 'e apparatuermasjine en kontaminearje de apparatuer en wafels.
3. Ympakt op personiel en apparatuer
As skjinne keamer leech is, is de luchtstream-skaaimerken yn 'e keamer yn' t algemien foldwaan oan 'e ûntwerpeasken. Sadree't apparatuer bliuwt, bewege minsken, en produkten wurde ferfierd, d'r binne ûnûntkomber obstakels oan 'e loftstream organisaasje, lykas skerpe punten útstutsen út' e apparatuermasjine. By de hoeken as kanten sil it gas omsette om in turbulent FLOW-gebiet te foarmjen, en de floeistof sil yn it gebiet net maklik wurde troch it ynkommende fersierde, wêrtroch fersmoarging feroarsaket.
Tagelyk sil it oerflak fan 'e meganyske apparatuer wurde ferwaarme fanwege trochgeande wurking, en de temperatuer sil in reflow-gebiet yn' e buert fan 'e masine feroarsaakje, dy't de accumulation fan dieltsjes fergruttet. Tagelyk sil de hege temperatuer maklik feroarsaakje dat de dieltsjes ûntkomme. It dual-effekt yntinsiveart de algemiene fertrietlike laach. De muoite om streamingen te kontrolearjen. Stof fan operators yn skjinne keamer kinne maklik folgje oan wafels yn dizze reflegeare gebieten.
4. Ynfloed fan return Air Floor
As it wjerstân fan 'e rendemint troch de flier foarby is, sil it drukferzysk foarkomme, wêrtroch't lucht streamt, yn' e rjochting fan lyts wjerstân, en unifoarme loftstream sil net wurde krigen. De hjoeddeistige populêre ûntwerpmetoade is om in ferhege flier te brûken. As de iepeningferhâlding fan 'e ferhege flier op 10% is, kin de loftstreamnassen gelyk wurde gelyk oan' e nij wurkgelegenheid. Derneist moat strikte oandacht betelle wurde foar it skjinmeitsjen fan wurk om de boarne fan fersmoarging op 'e flier te ferminderjen.
5 Induksje Fenomenon
De saneamde Induction-fenomenoen ferwiist nei it ferskynsel fan fleantúch yn 'e tsjinoerstelde rjochting oan' e unifoarme stream, yn 'e keamer yn' e oanklagge yn oanmerking yn 'e UPWIND SIDE, wêrtroch't it stof de wafel feroarsaket. Mooglik induzeare ferskynsels omfetsje it folgjende:
(1) bline plaat
Yn in skjinne keamer mei fertikale stream, fanwegen de gewrichten oan 'e gewrichten oan' e muorre, binne d'r oer it algemien grutte bline panielen dy't turbulente stream produsearje sille en lokale efterstream.
(2) lampen
Ferljochtingsarmuren yn skjinne keamer sille in gruttere ynfloed hawwe. Sûnt de hjittens fan 'e fluorescerende lampe feroarsaket de loftstream om te opstean, sil de fluorescerende lamp net in turbulentgebiet wurde. Yn 't algemien binne de lampen yn skjinne keamer ûntworpen yn in teardropfoarm om de ynfloed fan' e lampen te ferminderjen op fleanmasinisaasje.
(3) gatten tusken muorren
As der gatten binne tusken partitionmuorren of playsjes mei ferskate skjinenseasken, stof út gebiet mei easken mei lege skjinens kinne wurde oerdroegen oan oansûndere gebieten mei de easken mei hege skjinens.
(4) de ôfstân tusken de meganyske apparatuer en de flier as muorre
As it gat tusken de meganyske apparatuer en de flier as muorre lyts is, sil rebound Tribourcorce foarkomme. Dêrom lit in gap tusken de apparatuer en de muorre en ferheegje it masjasplatfoarm om direkt kontakt te foarkommen fan direkt kontakt mei de grûn.
Posttiid: NOV-02-2023