De chipopbringst yn chipprodusearjende yndustry is nau besibbe oan de grutte en it oantal luchtpartikels dy't op chip dellein binne. Goede luchtstreamorganisaasje kin dieltsjes genereare út stofboarnen fuort nimme fan skjinne keamer en soargje foar de skjinens fan 'e skjinne keamer. Dat is, de luchtstreamorganisaasje yn skjinne keamer spilet in fitale rol yn 'e opbringst fan chipproduksje. De doelen te berikken yn it ûntwerp fan skjinne keamer luchtstream organisaasje binne: te ferminderjen of elimineren eddy streamingen yn flow fjild te kommen dat behâld fan skealike dieltsjes; om in passende positive drukgradient te behâlden om krúskontaminaasje te foarkommen.
Neffens it skjinne keamerprinsipe omfetsje de krêften dy't op dieltsjes wurkje massakrêft, molekulêre krêft, attraksje tusken dieltsjes, luchtstreamkrêft, ensfh.
Luchtstreamkrêft: ferwiist nei de krêft fan luchtstream feroarsake troch oanfier- en weromluchtstream, thermyske konveksjeluchtstream, keunstmjittige agitaasje en oare luchtstreamen mei in bepaalde streamsnelheid om dieltsjes te dragen. Foar skjinne keamer miljeu technology kontrôle, lucht flow krêft is de wichtichste faktor.
Eksperiminten hawwe útwiisd dat by luchtstreambeweging dieltsjes de luchtstream folgje op hast krekt deselde snelheid. De tastân fan dieltsjes yn loft wurdt bepaald troch de luchtstreamferdieling. De wichtichste effekten fan luchtstream op binnendieltsjes omfetsje: luchtstream fan luchtoanfier (ynklusyf primêre luchtstream en sekundêre luchtstream), luchtstream en thermyske konveksjeluchtstream feroarsake troch minsken dy't rinne, en de ynfloed fan luchtstream op dieltsjes feroarsake troch prosesoperaasjes en yndustriële apparatuer. Ferskillende metoaden foar loftfoarsjenning, snelheidsinterfaces, operators en yndustriële apparatuer, feroarsake ferskynsels, ensfh yn skjinne keamers binne allegear faktoaren dy't ynfloed hawwe op it skjinensnivo.
1. Ynfloed fan lucht oanbod metoade
(1) Air supply snelheid
Om te garandearjen unifoarm luchtstream, de lucht oanbod snelheid yn de unidirectional flow skjinne keamer moat wêze unifoarm; de deade sône op it oerflak fan 'e loftfoarsjenning moat lyts wêze; en de druk drop binnen hepa filter moat ek wêze unifoarm.
De lucht oanbod snelheid is unifoarm: dat is, de unevenness fan de lucht stream wurdt regele binnen ± 20%.
D'r is minder deade romte op it oerflak fan 'e loftfoarsjenning: net allinich moat it fleantúchgebiet fan it hepa-frame wurde fermindere, mar noch wichtiger, modulêre FFU moat brûkt wurde om it oerstallige frame te ferienfâldigjen.
Om derfoar te soargjen dat de luchtstream fertikaal en unidirectional is, is de seleksje fan drukfallen fan it filter ek heul wichtich, en it is ferplichte dat it drukferlies binnen it filter net kin wurde bias.
(2) Fergeliking tusken FFU systeem en axial flow fan systeem
FFU is in lucht oanbod ienheid mei in fan en hepa filter. De lucht wurdt opsûge troch de sintrifugale fan fan de FFU en set de dynamyske druk om yn statyske druk yn it luchtkanaal. It wurdt evenredich útblazen troch hepa-filter. De loft oanfier druk op it plafond is negative druk. Op dizze manier sil gjin stof yn skjinne keamer lekke by it ferfangen fan it filter. Eksperiminten hawwe sjen litten dat de FFU systeem is superieur oan de axial flow fan systeem yn termen fan lucht outlet uniformity, lucht flow parallelism en fentilaasje effisjinsje yndeks. Dit is om't de luchtstreamparallelisme fan it FFU-systeem better is. It gebrûk fan it FFU-systeem kin de loftstreamorganisaasje yn skjinne keamer ferbetterje.
(3) Ynfloed fan de eigen struktuer fan FFU
FFU is benammen gearstald út fans, filters, luchtstream gidsen en oare komponinten. It hepa-filter is de wichtichste garânsje foar skjinne keamer om de fereaske skjinens te berikken dy't nedich is troch ûntwerp. It materiaal fan it filter sil ek ynfloed op de uniformiteit fan it streamfjild. Wannear't in rûch filter materiaal of in flow plaat wurdt tafoege oan de filter outlet, de outlet flow fjild kin maklik makke unifoarm.
2. Ynfloed fan snelheid ynterface mei ferskillende suverens
Yn deselde skjinne keamer, tusken it wurkgebiet en it net-wurkgebiet mei fertikale unidirectionale stream, troch it ferskil yn luchtsnelheid by de hepa-doaze, sil in mingde vortex-effekt foarkomme by de ynterface, en dizze ynterface sil in turbulinte wurde luchtstream sône. De yntinsiteit fan luchtturbulinsje is benammen sterk, en dieltsjes kinne wurde oerbrocht nei it oerflak fan 'e apparatuermasine en fersmoargje de apparatuer en wafels.
3. Ynfloed op personiel en apparatuer
As skjinne keamer leech is, foldogge de luchtstreameigenskippen yn 'e keamer oer it generaal oan de ûntwerpeasken. Sadree't apparatuer yn 'e skjinne keamer komt, minsken ferhúzje, en produkten wurde ferfierd, binne d'r ûnûntkomber obstakels foar de loftstreamorganisaasje, lykas skerpe punten dy't út 'e apparatuermasine stekke. Oan 'e hoeken of rânen sil it gas ôfliede om in turbulinte streamgebiet te foarmjen, en de floeistof yn it gebiet sil net maklik troch it ynkommende gas fuortfierd wurde, sadat fersmoarging feroarsaket.
Tagelyk wurdt it oerflak fan 'e meganyske apparatuer ferwaarme troch trochgeande wurking, en de temperatuergradient sil in reflowgebiet yn' e buert fan 'e masine feroarsaakje, wat de accumulation fan dieltsjes yn reflowgebiet fergruttet. Tagelyk sil de hege temperatuer maklik de dieltsjes ûntsnappe. It dûbele effekt fersterket de totale fertikale laach. De muoite fan it kontrolearjen fan stream skjinens. Stof fan operators yn skjinne keamer kin maklik adhere oan wafels yn dizze reflow gebieten.
4. Ynfloed fan werom lucht flier
As de wjerstân fan 'e weromlucht dy't troch de flier giet oars is, sil it drukferskil foarkomme, wêrtroch't lucht streamt yn' e rjochting fan lytse ferset, en unifoarme luchtstream sil net wurde krigen. De hjoeddeiske populêre ûntwerpmetoade is it brûken fan in ferhege flier. As de iepeningsferhâlding fan 'e ferhege flier op 10% is, kin de luchtstreamsnelheid lykmjittich ferdield wurde op' e wurkhichte binnen. Dêrneist moat strang omtinken jûn wurde oan skjinmakwurk om de boarne fan fersmoarging op 'e flier te ferminderjen.
5. Induction fenomeen
De saneamde induction ferskynsel ferwiist nei it ferskynsel fan it generearjen fan luchtstream yn 'e tsjinoerstelde rjochting oan' e unifoarm stream, inducing stof opwekt yn keamer of stof yn oanswettende fersmoarge gebieten oan 'e boppekant kant, dêrmei wêrtroch't it stof fersmoargje de wafel. Mooglike feroarsake ferskynsels omfetsje de folgjende:
(1) Blinde plaat
Yn in skjinne keamer mei fertikale ien-wei stream, troch de gewrichten op 'e muorre, der binne oer it generaal grutte bline panielen dy't sil produsearje turbulente stream en lokale backflow.
(2) Lampen
Ferljochtingsarmaturen yn skjinne keamer sille in gruttere ynfloed hawwe. Sûnt de waarmte fan de fluorescent lamp feroarsaket de luchtstream te rizen, de fluorescent lamp sil net wurden in turbulent gebiet. Yn 't algemien binne de lampen yn skjinne keamer ûntworpen yn in teardropfoarm om de ynfloed fan' e lampen op 'e loftstreamorganisaasje te ferminderjen.
(3) Spaasjes tusken muorren
As d'r gatten binne tusken skiedingsmuorren of plafonds mei ferskate easken foar skjinens, kin stof fan gebieten mei lege skjinenseasken oerbrocht wurde nei oanbuorjende gebieten mei hege easken foar skjinens.
(4) De ôfstân tusken de meganyske apparatuer en de flier of muorre
As it gat tusken de meganyske apparatuer en de flier of muorre lyts is, sil rebound turbulence foarkomme. Lit dêrom in gat tusken de apparatuer en de muorre litte en it masineplatfoarm ferheegje om direkt kontakt mei de grûn te foarkommen.
Post tiid: Nov-02-2023