Nei de ynrjochting op it plak mei de klasse 10000-standert foldogge de parameters lykas luchtvolumint (oantal luchtferoarings), drukferskil en sedimintaasjebaktearjes allegear oan 'e ûntwerp (GMP) easken, en mar ien item fan stofpartikeldeteksje is net kwalifisearre (klasse 100000).De resultaten fan 'e tellermjittingen lieten sjen dat grutte dieltsjes de standert wiene, benammen 5 μm en 10 μm dieltsjes.
1. Mislearring analyze
De reden foar grutte dieltsjes dy't de standert oertreffe, komt yn 't algemien foar yn skjinne keamers mei hege skjinens.As it suveringseffekt fan 'e skjinromte net goed is, sil it direkt ynfloed hawwe op de testresultaten;Troch de analyze fan loftvolumegegevens en eardere yngenieurûnderfining moatte de teoretyske testresultaten fan guon keamers klasse 1000 wêze;De foarriedige analyze wurdt yntrodusearre as folget:
①.It skjinmakwurk is net op peil.
②.D'r is luchtlek út it frame fan it hepa-filter.
③.It hepa-filter hat lekkage.
④.Negative druk yn 'e skjinne keamer.
⑤.De loft folume is net genôch.
⑥.It filter fan de airconditioning ienheid is ferstoppe.
⑦.It frisse luchtfilter is blokkearre.
Op grûn fan boppesteande analyse organisearre de organisaasje personiel om de status fan 'e skjinne keamer opnij te testen en fûn it loftvolume, drukferskil, ensfh om te foldwaan oan de ûntwerpeasken.De skjinens fan alle skjinne keamers wie klasse 100000 en de 5 μm en 10 μm stofdieltsjes oertroffen de standert en foldogge net oan de klasse 10000 ûntwerpeasken.
2. Analysearje en eliminearje mooglike flaters ien foar ien
Yn eardere projekten binne d'r situaasjes west wêr't ûnfoldwaande drukferskil en fermindere loftoanfiervolumint foarkamen troch primêr as medium effisjinsje blokkade yn 'e frisse luchtfilter as de ienheid.Troch it ynspektearjen fan de ienheid en it mjitten fan it luchtvolume yn 'e keamer, waard beoardiele dat items ④⑤⑥⑦ net wier wiene;de oerbleaune Folgjende is it probleem fan skjinens en effisjinsje binnen;der waard yndie gjin skjinmakke op it terrein dien.By it ynspektearjen en analysearjen fan it probleem hiene arbeiders spesjaal in skjinne keamer skjinmakke.De mjittingsresultaten lieten noch sjen dat grutte dieltsjes de standert oertroffen, en doe de hepa doaze ien foar ien iepene om te scannen en te filterjen.De scanresultaten lieten sjen dat ien hepa-filter yn 'e midden skansearre wie, en de mjittingswearden fan' e dieltsjes fan it frame tusken alle oare filters en de hepa-box ynienen tanommen, benammen foar 5 μm en 10 μm dieltsjes.
3. Oplossing
Sûnt de oarsaak fan it probleem is fûn, is it maklik op te lossen.De hepa doaze brûkt yn dit projekt binne allegear bout-yndrukt en beskoattele filter struktueren.D'r is in gat fan 1-2 sm tusken it filterframe en de binnenmuorre fan 'e hepa-doaze.Nei it foljen fan de gatten mei dichtstrips en seal se mei neutraal dichtmiddel, is de skjinens fan 'e keamer noch klasse 100000.
4. Fault re-analyze
No't it frame fan 'e hepa-doaze is fersegele, en it filter is skansearre, is d'r gjin lekpunt yn it filter, sadat it probleem noch altyd op it frame fan' e binnenmuorre fan 'e luchtventil komt.Dan hawwe wy it frame nochris skansearre: De deteksjeresultaten fan it binnenmuorreframe fan it hepa-doaze.Nei it trochjaan fan it segel, ynspektearje de gat fan 'e binnenmuorre fan' e hepa-doaze opnij en fûn dat de grutte dieltsjes de standert noch oertreffe.Earst tochten wy dat it it wervelstroomferskynsel wie yn 'e hoeke tusken it filter en de binnenmuorre.Wy ree om te hingjen 1m film lâns it hepa filter frame.De lofter en rjochter films wurde brûkt as skyld, en dan wurdt de skjinenstest útfierd ûnder hepa-filter.By it tarieden om de film te plakjen, wurdt fûn dat de binnenmuorre in ferve peeling ferskynsel hat, en d'r is in hiele gat yn 'e binnenmuorre.
5. Behannelje stof út hepa box
Plak aluminium folie tape op 'e binnenmuorre fan' e hepa doaze te ferminderjen stof op 'e binnenmuorre fan' e loft haven sels.Nei it plakjen fan aluminiumfolietape, ûntdek it oantal stofdieltsjes lâns it hepa-filterframe.Nei it ferwurkjen fan 'e frame-deteksje, troch it fergelykjen fan de resultaten fan' e partikeltellerdeteksje foar en nei ferwurking, kin dúdlik wurde bepaald dat de reden foar de grutte dieltsjes dy't de standert oergeane wurdt feroarsake troch it stof ferspraat troch de hepa-doaze sels.Nei it ynstallearjen fan it diffusordeksel waard de skjinne keamer opnij hifke.
6. Gearfetting
De grutte dieltsje boppe de standert is seldsum yn cleanroom projekt, en it kin hielendal foarkommen wurde;troch de gearfetting fan de problemen yn dit cleanroomprojekt moat it projektbehear yn de takomst fersterke wurde;dit probleem komt troch de lakse kontrôle fan grûnstoffen oankeap, dy't liedt ta ferspraat stof yn hepa box.Derneist wiene d'r gjin gatten yn hepa-doaze of ferve peeling tidens it ynstallaasjeproses.Dêrneist wie der gjin fisuele ynspeksje foar it filter waard ynstallearre, en guon bolten waarden net strak beskoattele doe't it filter waard ynstallearre, allegearre dy't toande swakkens yn behear.Hoewol't de wichtichste reden is stof út 'e hepa doaze, de bou fan' e skjinne keamer kin net wêze sloppy.Allinich troch it útfieren fan kwaliteitsbehear en kontrôle yn it heule proses fan it begjin fan de bou oant it ein fan foltôging kinne de ferwachte resultaten wurde berikt yn 'e ynrjochtingstadium.
Post tiid: Sep-01-2023